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华虹无锡项目首批光刻机搬入 年内实现规模出货

发布时间:2019-06-10 22:52 阅读

  中新网江苏新闻6月6日电(记者 孙权)6月6日,华虹无锡集成电路研发和制造基地(下简称“华虹无锡项目”)(一期)12英寸生产线建设项目(华虹七厂)首批3台光刻机通过升降机搬入厂房。

华虹无锡集成电路研发和制造基地(一期)12英寸生产线建设项目首批光刻机搬入仪式。
华虹无锡集成电路研发和制造基地(一期)12英寸生产线建设项目首批光刻机搬入仪式。 

  此举标志着华虹七厂的建设进入设备安装调试的全新阶段,在接下来的1个半月时间里,设备将陆续搬入并完成安装调试,力争在今年9月份完成产品试片,年内实现规模出货。

  芯片制造是通过光刻把图形复制到硅片上的过程,图形的最小尺寸取决于光刻机的水平。所以说,光刻机是芯片制造过程中的核心设备,定义了整条生产线的工艺水平。

工人们正准备将光刻机搬入厂房。
工人们正准备将光刻机搬入厂房。 

  华虹无锡项目的工艺等级为55nm,此番搬入厂房的3台光刻机由荷兰ASML生产。今年5月24日,华虹无锡项目已实现首台工艺设备的搬入。

  “通常技术上有两条战略发展路线,一条是沿着‘摩尔定律’不断微细化发展,一条是沿着‘超摩尔定律’发展特色工艺。”华虹宏力副总裁、华虹半导体(无锡)副总裁、华虹七厂厂长倪立华接受采访时表示,华虹集团一方面坚持在“摩尔定律”的路线上研发先进工艺技术,同时坚持在“超摩尔定律”方面不断发展、提升优势。

  华虹无锡项目是华虹集团8英寸“超摩尔定律”特色工艺平台在12英寸上的进一步延深,瞄准的终端应用包括5G通信、物联网以及汽车电子等领域,这也和无锡本身的产业发展定位和走向非常契合。

图为升降机上的光刻机。
图为升降机上的光刻机。 

  目前,无锡正在打造以物联网为龙头的新一代信息技术产业高地,华虹无锡项目将为无锡智慧城市建设提供有力支撑,该项目同时也是技术战略、产品战略和产业战略的有效结合,也非常契合长三角一体化高质量发展的战略布局。

  倪立华透露,华虹无锡项目在建设过程中,利用华虹集团现有的12英寸生产线进行55nm特色工艺的研发,由此大大缩短了研发周期。

  记者了解到,华虹无锡项目一期项目投产后,还将适时启动二期和三期工程,技术等级也将不断提升。全部建成后华虹集团在无锡将有三条12英寸集成电路生产线,生产规模有望达到每月近20万片。

  “智慧城市的根基以及物联网的发展离不开5G技术支撑,华虹无锡项目将为无锡智慧城市建设提供有力支撑。”谈及时下热议的5G,倪立华提到:华虹无锡项目将开发生产智能卡芯片、微控制器(MCU)芯片、电源管理芯片及系统集成(SoC)芯片等技术产品。这些产品将广泛应用于智能卡、银行卡、能源管理、节能减排等领域。

  据悉,华虹无锡项目是华虹集团在上海市域外布局的第一个集研发与生产的制造基地,在华虹集团新20年战略发展中具有标志性意义。项目总投资100亿美元。其中,一期项目投资25亿美元,建设一条工艺等级为90-55nm,月产4万片的12英寸特色工艺生产线。(完)

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